El Acelerómetro triaxial MEMS de grado industrial AT-950 adopta tecnología MEMS avanzada basada en silicio y un diseño compacto diseño de envases de cerámica, que incluye Alta estabilidad, bajo nivel de ruido, baja deriva de temperatura, amplio rango de medición y excelente fiabilidad a largo plazo..
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1Series de productos y parámetros
| Parámetros | Acelerómetro MEMS | Unidad | |
| Código de producto | AT-950-40 | AT-950-50 | |
| Encapsulación | CLCC14 | ||
| Dimensión | 6*6*2 | mm | |
| Axial | X, Y, Z | ||
| Rango | ±40 | ±50 | g |
| no linealidad de escala | <1000(X,Y), <5000(Z) | <1000 ppm (@20 g); >3000 ppm (@50 g) | ppm (Norma IEEE, de escala completa) |
| Ancho de banda 3 dB (ajustable) | ≥200 | ≥200 | Hz |
| Demorado | <1.5 | <1.5 | ms |
| Polarización cero (temperatura ambiente) | ±1 (X,Y); ±1,5 (Z) | ±1 (X,Y); ±1,5 (Z) | mg (a temperatura ambiente) |
| deriva de temperatura con polarización cero | <5 | <5 | mg |
| Histéresis de temperatura con polarización cero | <1.5 | <2 | mg |
| Estabilidad de polarización cero (1 s, funcionamiento suave a temperatura ambiente) | 100 (X, Y), 150 (Z) | 100 (X, Y), 150 (Z) | ug |
| Estabilidad de polarización cero (10 s, funcionamiento suave a temperatura ambiente) | 75 (X, Y), 100 (Z) | 75 (X, Y), 100 (Z) | ug |
| Estabilidad de polarización cero (Allan) | 20 (X, Y), 25 (Z) | 25 (X, Y), 30 (Z) | ug |
| Repetibilidad del interruptor 1σ | 50 (X, Y), 75 (Z) | 50 (X, Y), 75 (Z) | ug |
| factor de escala | 12800±13 | 10240±10 | Lsb/g(@temperatura ambiente) |
| coeficiente de temperatura de escala | 100 | 100 | ppm/°C |
| Error residual después de la compensación de temperatura escalada | 100 | 100 | ppm (compensación de segundo orden) 1σ |
| Hora de inicio | <200 | <200 | ms |
| ODR (ajustable) | 4K | 4K | Hz |
| Choque de energía | 3000 | 3000 | g |
| corte de energía | 3000 | 3000 | g |
| Error de rectificación de vibración (6grms) | 1 (X, Y), 3 (Z) | 1 (X, Y), 3 (Z) | mg/g |
| Temperatura de funcionamiento | -45 ~ +85 | -45 ~ +85 | °C |
| Voltaje de alimentación | 3,3 ± 10 % | 3,3 ± 5% | V |
| Actual | <600 | <600 | uA |
| Interfaz de comunicación | SPI | SPI | |
proceso de producción
Dimensiones del producto


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